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詳細資料ISBN：9789863581291 叢書系列：知識平方 規格：平裝 / 176頁 / 16K菊 / 14.8 X 21 CM / 普通級/ 單色印刷 / 初版 出版地：台灣 內容簡介 日本生產工程權威獎項得主力作，圖解與表格詳實，帶領工程師掌握半導體乾蝕刻技術的全貌，提升現場即戰力。 ◎作者於1989年，以「有磁場微波電漿蝕刻技術的開發與實用化」受獎大河內紀念賞。1994年，以「低溫乾蝕刻設備的開發」受獎機械振興協會賞通產大臣賞。 ◎圖解乾蝕刻技術的原理與實務，讓你一讀即懂。 ◎由製程直到設備、新技術，更進一步設置有關電漿損傷的章節，以便理解全貌並了解乾蝕刻今後的課題與展望。 針對半導體乾蝕刻技術涉及的電漿物理、化學、材料、電磁等複雜現象，循序解析，詳解各環節的連帶影響，提升現場即時應變的作戰能力，為優秀工程師養成必備的工具書！ 非等向性蝕刻是如何實現？為何SI的蝕刻使用CL2及HBR，而SIO2的蝕刻則使用氟碳系列的氣體？為何POLY-SI及AL的蝕刻使用ICP（電感耦合式電漿）之類的高密度電漿，而SIO2的蝕刻則使用中密度電漿於間距狹窄的平行板型蝕刻機？ 本書告訴你這些連現場資深乾蝕刻工程師都不見得充分理解的知識。從乾蝕刻技術的基礎講到應用，讓初學者容易理解與整理；對於已有程度、經驗的工程師而言，讀之更加能理解、掌握乾蝕刻技術的全貌。 《半導體乾蝕刻技術》精彩內容請看：WWW.PRESSSTORE.COM.TW/FREEREADING/9789863581291.PDF |
| 搜尋參考資料: 1.半導體乾蝕刻技術-金石堂網路書店 www.kingstone.com.tw/book/book_page.asp?kmcode=...Translate this page 半導體乾蝕刻技術－金石堂網路書店歡迎您加入博客和facebook 臉書粉絲團！The largest retail books store chains in Taiwan! www.taaze.tw/sing.html?pid=11100743851Translate this page taaze讀冊生活網路書店<<半導體乾蝕刻技術>> 野尻一男 日本生產工程權威獎項得主力作，圖解與表格詳實，帶領工程師掌握 ... www.eslite.com/product.aspx?pgid=1001168672404188Translate this page 內容簡介 日本生產工程權威獎項得主力作，圖解與表格詳實，帶領工程師掌握半導體乾蝕刻技術的全貌，提升現場即戰力。 半導體乾蝕刻技術 : 日本生產工程權威獎項得主力作，圖解與表格詳實，帶領工程師掌握半導體乾蝕刻技術的全貌，提升現場 ... 2-floor.dyndns.org/item_detail.php?pro_id=775934Translate this page 自序 乾蝕刻技術作為半導體元件的微縮、高積體化的手段，與微影技術構成雙璧的關鍵技術，所參與的工程師人數也幾乎與 ... 半導體乾蝕刻技術 |
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